臭氧是一種強氧化劑，消耗低，反應(yīng)速度快，無二次污染物致癌性，因此廣泛應(yīng)用于飲用水、工業(yè)廢水、循環(huán)冷卻水等工業(yè)廢水的處理，以及食品、醫(yī)藥、造紙、化工、環(huán)保等行業(yè)。產(chǎn)生臭氧的方法有很多，包括靜電放電法、化學(xué)法、紫外輻射法和電解法。然而，目前大多數(shù)工業(yè)系統(tǒng)使用無聲放電方法來研究臭氧發(fā)生器。用工業(yè)水處理臭氧發(fā)生器的方法主要包括：放電單元（由電極和介質(zhì)組成）、電源、入口準(zhǔn)備和冷卻系統(tǒng)等。熱化理論產(chǎn)生的臭氧能量利用率的理論值是1200g/（kWh），但實際上遠(yuǎn)遠(yuǎn)達不到這個值，因為只有4%~12%的能量被用來形成臭氧，而剩余的能量全部轉(zhuǎn)化為熱量。

入口配料系統(tǒng)包括壓縮機、冷卻器、干燥器、過濾器、參數(shù)監(jiān)視器等。它的功能是去除入口氣體中的雜質(zhì)，提供合適的氣流速度和溫度，控制入口氣體的溫度，等等。在這些因素中，重要的是去除進氣中的水分，降低進氣中的濕度，即降低進氣中的露點，因為水分對臭氧的產(chǎn)生非常不利，也就是說，臭氧的輸出隨著露點的增加而減少。因為潤濕不僅改變氣體的性質(zhì)，還會改變涂在電極上的介質(zhì)的表面性質(zhì)，如導(dǎo)電性，會減弱放電，減少臭氧的產(chǎn)生。工業(yè)臭氧發(fā)生器中使用的冷卻介質(zhì)包括空氣或氧氣、水或油。在工業(yè)水處理臭氧發(fā)生器中，系統(tǒng)冷卻也很重要，因為產(chǎn)生臭氧時會產(chǎn)生大量熱量，溫度對臭氧有顯著影響。結(jié)果表明，隨著溫度的升高，臭氧的體積分?jǐn)?shù)急劇下降，導(dǎo)致臭氧產(chǎn)量和生產(chǎn)率下降[15，28]。純氣源，10kHz電源，可達到400g/（kWh）-90℃的能量利用率。